XY 方向扫描范围 | 90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） |
Z 方向扫描范围 | 10μm（典型值）， 9.5μm（最小值） |
纵向噪音水平 | <30pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下 ( 可达 625Hz)） |
XY 方向闭环噪音水平 | ≤ 0.15nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下 ( 可达 625Hz)） |
XY 方向开环噪音水平 | ≤ 0.1nm RMS 值（在典型的成像带宽条件下 ( 可达 625Hz)） |
Z 方向闭环噪音水平 | 35pm RMS 值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下 ( 可达 625Hz) 50pm RMS 值，力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz) |
XYZ 三方向的非线性 | <0.5% （典型值） |
样品尺寸和固定方式 | 210mm 直径，真空吸附，≤ 15mm 厚 |
180mm × 150mm 可观测区域； 单向 2μm 重复性；双向 3μm 重复性 | |
光学系统 | 5 百万像素数字摄像头；180μm 至 1465μm 可视区域 ; 数字化缩放，马达 驱动聚焦 |
控制器 | NanoScope V |
防震台 | 可选气动式隔音防震平台 |
隔音体系 | 可工作在高达 85DBC 连续噪音环境中 |