Dimension®FastScan ™是布鲁克公司基于世界上使用最多的原子力显微镜平台的一个技术创新。快速扫描系统与超稳定，低噪音平台相结合，无论是超低噪声，高精度扫描，还是高速率的扫描， 均使得该系统超过您实验室购买的任何单一设备，实现真正的物超所值。为满足原子力显微镜使用者对提高使用效率的需求，这套快速扫描系统，在不降低分辨率，不增加设备复杂性，不影响仪器操作成本的前提下，帮助用户实现了即时快速得到高分辨高质量图像的愿望。FastScan ™这一变革性技术重新定义了原子力显微镜的新高度。
【主要应用】 1、 主要用于材料纳米级表面形貌、粗糙度的测量，同时还可以测试纳米材料的表面机械性能、电学、磁学和电化学等物理特性等；2、 广泛应用于半导体、纳米材料、通讯、生物学、数据储存、食品、化学、地质、能源、环境等领域。 【主要参数】
| Icon AFM 扫描管 | FastScan AFM 扫描管 |
XY 方向扫描范围 | 90μm x 90μm（典型值），85μm（最小值） | 35μm x 35μm（典型值）, 30μm 最小值） |
Z 方向扫描范围 | 10μm（典型值），9.5μm（最小值） | ≥ 3μm |
纵向噪音水平 | <30pm RMS 值（在合适的环境下，典型的成像带宽可达 625Hz） | <40pm RMS 值（在合适的环境下，典型的成像带宽可达 625Hz） |
X-Y 针尖速度 (1% 轨迹误差 ) |
| >2mm/S |
Z 针尖速度 |
| 12mm/S |
XY 方向闭环噪音水平 | ≤ 0.15nm RMS 值（典型的成像带宽条件可达 625Hz） | ≤ 0.20nm RMS（典型的成像带宽条件可达 2.5KHz） |
Z方向闭环噪音水平 | 35pm RMS 值（在合适的环境下，典型的成像带宽可达 625Hz）；50pm RMS 值，力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz) | 30pm RMS （在合适的环境下，典型的成像带宽可达 625Hz） |
XY 方向平坦度（30μm 范围） |
| ≤ 3nm |
XYZ 方向的非线性参数 | <0.5% | <0.5% |
样品尺寸和固定方式 | 210mm 直径，真空吸附，≤ 15mm 厚 | 210mm 直径，真空吸附，≤ 15mm 厚 |
180mm × 150mm 可 观 测 区 域； 单 向 2μm 重复性；双向 3μm 重复性 | 180mm × 150mm 可 观 测 区 域； 单 向 2μm 重复性；双向 3μm 重复性 | |
光学系统 | 5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头；180μm 至 1465μm 可视区域 ; 数字化缩放，马达驱动聚焦 | 5 百 万 像 素 数 字 摄 像 头；130μm 至 1040μm 可视区域 ; 数字化缩放，马达驱动聚焦 |
控制器 | NanoScope V | NanoScope V |
震动隔离 | 可选防震平台或隔音防震平台，气动式 | 可选防震平台或隔音防震平台，气动式 |