正置显微镜分析从极小的MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆，或甚至整块平板显微器，其间不会对样品造成破坏。借助 300 mm 的横向移动距离和254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证，并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至更佳聚焦位置。
正置显微镜特点：
两种手动和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜300 mm 横向与纵向移动距离254 mm 垂直深度的优势。
Axio ImagerVario 能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这就意味着，即便是较重的样品，也可以获得高准确聚焦精度和可重复性。
借助自动聚焦硬件，您可以准确快速地聚焦低对比度的反射样品。
Axio ImagerVario 与 LSM 700 组合应用，以高分辨率无接触地分析敏感样品。
Axio ImagerVario 已通过 DIN EN ISO14644-1 标准认证，并满足洁超净室等级 5 的要求
超净室：
半导体制造与晶圆检测需要在超净室内完成。根据 DIN EN ISO 14644-1 标准，以每立方米的颗粒数量和大小将其划分成不同等级。在超净室应用中，Axio Imager Vario 已通过此标准认证，并满足超净室等级 5 的要求。超净室 ISO 5 等级相当于原 FED STD 209E（1992）标准的 100 级。超净室套件中包含一个 7 孔物镜转盘、一个颗粒保护罩及一个防喷嚏保护罩。