μsurf 移动3D共聚焦显微镜光学测量系统是针对大型物体检测（如轧辊和车身）而研发的。本系统以稳定的的μsurf共聚焦技术为基础，因此它适用于严苛的生产环境。全套设备只有5.5kg，因此可以放在移动式运输箱里并使用任何汽车进行搬运。到达现场后，这套系统只需要几分钟的准备时间就能投入使用。
μsurf 移动3D共聚焦显微镜的粗糙度测量结果遵循DIN,EN,ISO等标准，可以分析三维形貌和测量微观尺寸并自动得出形状结构和体积参数，测量结果会被转移到一个可自由定义的分析软件中进行进一步处理。在轧辊性能检测中，它表面的纹理和缺陷能够被精确的检测和评估。这项技术已经在许多企业里得到成功的应用，这些企业涵盖汽车行业、印刷和造纸行业、医疗技术行业、微电子技术行业；同样，我们的技术同样应用在众多研究机构。
硬件 图像采集模块 | 采用*扫描技术的高速数字相机扫描，高达55帧/秒， 512x512像素，10位，火线接口 |
光源 | 高性能LED灯（λ=505nm），平均无故障时间：50000h |
X、Y轴模块MN50 | 精密定位模块，X、Y轴测量范围：50x50mm2 |
Z轴模块MN35 | 精密扫描模块，行程：35mm |
Z轴模块NV250 | 高速超高精度扫描模块（压电模块），行程：250μm， 分辨率＜10nm |
外围装置及控制器 | 台式机/笔记本/桌上型台式机，Windows XP专业版，4GB RAM，火线接口，DVD光驱，以太网络，3D导航器，集 成的移动便携式运输箱 |
底座 | 为了检测轧辊表面形貌，设计了特殊的底座，用于测量直 径＞200mm的轧辊 |