AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
AL120-12晶圆搬送机
人机工程学设计,操作方便
•可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。
•分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。
坚固、可靠和安全传送
•延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
•薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。
•宏观观察位置的优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。
西努光学创建于2003年,主营工业显微镜及制样设备、镜片测定设备,高速摄像系统、工业内窥镜、机器视觉等工业及科研应用的检测设备及系统集成。
西努光学秉承“以光学为核心,为客户提供解决方案”的经验思路,经过17年的努力,成为众多企业、高校科研单位提供各种专业化的光学系统解决方案。并于2012 年导入SAP 管理系统,通过系统资源整合,为客户提供更优质、快捷的专业化服务。
2016年,我们积极引进*、检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台,以更好的为客户提供现场体验,从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。