原子力显微镜的XY扫描器：
闭环控制式单模块柔性XY扫描器。扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)分辨率: 0.05 nm定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)水平线性: < ２nm (over 40 μm scan)
Z扫描器：
柔性引导高力度扫描器扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)分辨率: 0.015 nm定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
原子力显微镜光学系统：
可观察样品和探针的直视同轴光学系统视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
物镜：
10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)
信号处理：
ADC: 18个通道4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCsDAC: 12 信道2个高速 DAC 通道 (50 MSPS)X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs大数据大小: 4096 x 4096 像素
集成功能：
3个通道数字锁相放大器热噪声法标定弹性系数数码Q控制
外部信号介入：
20个嵌入式信号输入/输出端口5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias