一、激光平面干涉仪 PG15-J参数
标准平面（A面），不镀膜。 工作直径 | D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm(λ/30) |
第二标准平面（B面），不镀膜。 工作直径 | D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm(λ/20) |
准直系统 | D1=Φ146mm |
工作直径 | f=400mm |
测微目镜 | 焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X，视场角2w=40o，成像物镜：I、D=4.5；П、D=7；Ш、D=10，f=16，f=23，f=37 |
干涉室尺寸 | 深260*宽300*190mm |
光源规格 | 激光ZN18（He-Ne） |
外形尺寸 | 长*宽*高 350*400*720mm |
重量 | 100公斤 |