日本朝日分光asahi-spectra光谱膜厚监测仪OMD-1000
这是一台光谱膜厚监测仪，用于监测在用单色光进行气相沉积过程中基板上的光量变化。它也用在我们自己的气相沉积设备中，并作为膜厚监测设备完成，该设备具有气相沉积零件制造商的专有技术。
全波长范围
在传统型号中，波长选择是滤光片类型，但是新产品结合了我们成熟的光谱仪，现在可以选择任何波长。
膜厚变化的信号是从电压输出到与个人计算机兼容的数字输出，控制机制是从手动操作到个人计算机的命令控制。此外，通过将薄膜厚度计主体通过I / F直接连接到个人计算机来控制其厚度成为可能，这是一个非常紧凑的系统，无需像其他制造商一样具有控制器。
特征
分光镜设计紧凑通过提高抗噪声性（静电放电测试耐受电压±5 kV）实现高度可靠的膜厚度监控可以通过PC上的命令自动控制通过将控制器合并到接收器主体中来实现高性价比日本朝日分光asahi-spectra光谱膜厚监测仪OMD-1000
产品规格| 模型 | OMD-1000 |
| 光谱仪类型 | Zellny Turner类型单单色 |
| 波长范围 | 保证范围：380至900 nm可操作 范围：350至1100 nm |
| 波长分辨率 | 狭缝0.5mm：4.2nm [546nm] 狭缝1.0mm：8.3nm [546nm] |
| 波长精度 | ±1.0纳米 |
| z小波长进给 | 0.1纳米 |
| 外部控制 | RS232C |
| 外部输出端子 | DC0-2V（满量程） |
| 采样间隔 | 100ms以上 |
| 静电放电试验耐电压 | ±5kV（实际8kV） |
| 光源 | 12V100W卤素灯 |
| 光强度稳定性 | ±0.1％/ h以下 |
| 输入电压 | AC100V 50/60赫兹 |
| 允许输入电压 | AC85-132V |
| 视在功率 | 340VA以下 |
| 使用环境 | 温度10-35℃ 湿度20-80％ |